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產品詳細頁
聚焦離子束電鏡

聚焦離子束電鏡

  • 訪問量:646
  • 更新日期:2022-05-20
  • 產品介紹:Thermo Scientific Helios 5 Laser 聚焦離子束電鏡提供了優良的能力,大體積3D分析,Ga-free樣品制備,和精密微加工。
  • 廠商性質:代理商

產品介紹

品牌FEI/賽默飛

Thermo Scientific™ Helios™ 5 Laser 聚焦離子束電鏡提供了優良的能力,大體積3D分析,Ga-free樣品制備,和精密微加工。具有創新的,完全集成的飛秒激光器,它提供較快的材料去除率和較高的切割面質量,是毫米尺度范圍納米分辨率下較快的高質量亞表面和三維表征設備。


☆ 對于毫米尺度的截面,較快的材料去除速度比典型的Ga + FIB要快15,000倍

☆ 統計相關的亞表面和3D數據分析,在更短的時間內獲得更大的體積
☆ 可重復的切割放置與三束重合在樣品上
☆ 通過提取亞表面TEM薄片或塊快速表征深部特征,用于三維分析
☆ 高通量處理具有挑戰性的材料,如不導電或離子束敏感樣品
☆ 快速和簡單的表征空氣敏感樣品,對于成像和截面制備不需要在不同儀器之間轉移
☆ 包含Helios 5 PFIB平臺的所有功能,包括高質量的Ga-free TEM和APT樣品制備以及極高的高分辨率成像能力


Thermo Scientific™ Helios™ 5 Laser 聚焦離子束電鏡參數:

飛秒激光PFIB

大體積:2000×2000×1000μm3
大束流:~1mA(等效于離子束電流)
切割束流:74μA
束斑尺寸:15μm
激光集成:3束(SEM/PFIB/laser)完全集成在倉室中,并具有相同的重合點,
實現可重復的切割位置和3D表征。
一次諧波:波長1030納米(紅外),,脈沖持續時間<280fs
二次諧波:波長515納米(綠),脈沖持續時間<300fs
電子光學:
☆ 三束重合點  WD=4mm(與SEM/FIB相同)
☆ 可變物鏡(電動)
☆ 極化:水平/垂直
☆ 脈沖頻率: 1kHz~1MHz
☆ 束流位置精度:<250nm
保護擋板:自動SEM/PFIB保護擋板
軟件:
☆ 激光控制軟件
☆ 激光三維連續切片工作流程
☆ EBSD激光三維連續切片工作流程
☆ 激光編譯
安全性:連鎖激光器外殼(一級安全)


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